从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（---温探针台），rf探针台，lcd平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台经济手动型根据客户需求定制chuck尺寸：4*4 6*6 8*8 12*12 (可选）x-y移动行程：4*4 6*6 8*8 12*12(可选）chuck z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）
由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。x-y工作台的维护与保养无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，测试治具，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。
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