搭配probe card测试适用领域：8寸/6寸wafer、ic测试之产品电动型chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）x，y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u可搭配mitutoyo晶像显微镜或者aec实体显微镜针座摆放个数8～12颗显微镜x-y-z移动范围2“x2”x2“材质：花岗岩台面+不锈钢可搭配probe card测试
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用于滤去ph0o信号的干扰，ph180o与上述滤波方式相同，经过滤波的ph0o信号连接至差分放大器u502上的1脚，滤波的，ph180o信号连接至差分放大器u502上的8脚，差分放大器u502以及电阻r510、电阻r511、电阻r512、电阻r513共同构成一个差分电路，终输出ph0、fh180两种信号。正弦信号ph270o、ph90o与ph0o、ph180o滤波差分方式相同，在此不再赘述。终，四路正弦信号经过滤波电路以及差分电路得到ph0、fh180、ph90、fh270四路测量信号。
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